Á¦Á¶/ÆÐŰ¡
»ï¼º°ú ÄÉÀÌ´ø½º, 20³ª³ë µðÁöÅÐ µðÀÚÀÎ ¹æ¹ý·Ð ¼±º¸¿©
Ű¿öµå£º´õºí ÆÐÅÍ´× 20³ª³ë ÇÁ·Î¼¼½º °øÁ¤ IC
[±â»ç ¿ä¾à] ÄÉÀÌ´ø½º µðÀÚÀÎ ½Ã½ºÅÛÀº »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ¼Õ Àâ°í ´õºí ÆÐÅÍ´×(double patterning) ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ 20³ª³ë(nm) µðÀÚÀÎ ¹æ¹ý·ÐÀ» ¼±º¸ÀÎ´Ù°í ¹ßÇ¥ÇÏ¿´´Ù. ´õºí ÆÐÅÍ´×Àº °í±Þ ÇÁ·Î¼¼½º ³ëµå¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °í¹Ðµµ ¶ó¿ìÆÃÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(lithography)ÀÇ »õ·Î¿î ÇÙ½É ±â¼úÀÌ´Ù. ´õºí ÆÐÅÍ´×Àº µðÀÚÀÎ °úÁ¤¿¡¼ °¢ ±Ý¼Ó ·¹À̾ Ĩ °øÁ¤À» À§ÇØ µÎ °³......ÀÌ ±â»ç¸¦ º¸·Á¸é ·Î±×ÀÎÇϰųª °¡ÀÔÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù>>
|
ÀÌ¹Ì °¡ÀÔÇϼ̴ٸé? Èï¹Ì·Î¿î ÄÜÅÙÃ÷¸¦ º¼ ¼öÀÖ´Â ¸ðµç ·Î±×.
|
| °ü·Ã ÄÜÅÙÃ÷ | ¿À´ÃÀÇ ÇÖ ´º½º |
ÀÇ°ß ¾²±â - »ï¼º°ú ÄÉÀÌ´ø½º, 20³ª³ë µðÁöÅÐ µðÀÚ...
|
||||||||||||||


