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시뮬레이션 기반의 마스크 결함 인증
[기사 요약] Numerical사와 UMC사가 협력하여 서브파장 기술 및 접근 방법을 채택함으로써 마스크 비용과 턴어라운드 시간을 줄인 사례를 살펴 본다.더 자세한 내용은 PDF 버전으로 제공되고 있습니다.
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