°Ë»ö °á°ú:MEMS ȨÆäÀÌÁö / °Ë»ö °á°ú
ÀüÀÚ¿£Áö´Ï¾îÀÇ °Ë»ö ¿£ÁøÀ» ÅëÇØ °ü·Ã ÀüÀÚ¾÷°è Á¤º¸¸¦ ÀÔ¼öÇϽʽÿÀ

MEMS¶õ?

¸¶ÀÌÅ©·Î Àü±â ±â°è ÀåÄ¡[micro-electromechanical systems]. ¼¾¼­, ¹ëºê, ±â¾î, ¹Ý»ç°æ ¹× ¹ÝµµÃ¼ Ĩ ÀÛµ¿±â µîÀÇ ÀÛÀº ±â°è ÀåÄ¡¿Í ÄÄÇ»Å͸¦ Á¶ÇÕ½ÃŲ ±â¼ú. ¡®½º¸¶Æ® ¸ÞÅÍ(smart matter)¡¯¶ó°íµµ Çϸç, ¹Ý»ç°æÀ̳ª ¼¾¼­¿Í °°Àº ±â°è ÀåÄ¡ Á¦À۽ÿ¡ ³Ö´Â ÀÛÀº ½Ç¸®ÄÜ Ä¨ÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·Î ȸ·Î¸¦ °¡Áø ÀåÄ¡·Î¼­, ÀÚµ¿Â÷ ¿¡¾î¹é¿¡¼­ °¨ÁöµÈ ¼Óµµ¿Í º¸È£ÀÚÀÇ Ã¼Áß¿¡ ¸Â°Ô ¹éÀ» ÆØÃ¢½ÃŰ´Â ÀåÄ¡, È­¹° ¼ö¼ÛÀÇ ¿¬¼Ó ÃßÀû°ú Ãë±Þ °úÁ¤À» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Â Àü ¼¼°èÀû À§Ä¡ ½Ã½ºÅÛ ¼¾¼­, ºñÇà±â ³¯°³ÀÇ Ç¥¸é °ø±âÀúÇ׿¡ µû¶ó °ø±â È帧ÀÇ º¯È­¸¦ °¨ÁöÇÏ¿© »óÈ£ÀÛ¿ëÇÏ´Â ¼¾¼­, 20³ª³ëÃÊÀÇ ¼Óµµ·Î ±¤ ½ÅÈ£¸¦ ³¾ ¼ö ÀÖ´Â ±¤ ½ºÀ§Äª ÀåÄ¡, ¼¾¼­ Á¶ÀÛ ³Ã¿Â ÀåÄ¡, ´ë±â ¾Ð·Â¿¡ ¹ÝÀÀÇÏ´Â ¹°ÁúÀÇ À¯¿¬¼ºÀ» º¯È­½ÃŰ´Â ºôµù ³» ¼¾¼­ µî ¿©·¯ ¿ëµµ·Î ¾²ÀδÙ.

񃯇
( 249 )
¿ë¾îÁý
(0)
   
ÀüÀÚ¿£Áö´Ï¾î - ÃÑ 249 ±â»ç
2003-10-22 IMEC, EVG¿Í ¿þÀÌÆÛ ¼öÁØÀÇ ÆÐŰ¡°ú ¿þÀÌÆÛ Á¢Âø ±â¹ý¿¡ °üÇØ Á¦ÈÞ
Asahi Glass»ç´Â Á¾·¡ÀÇ Á¦Ç°¿¡ ºñÇØ ¿¡³ÊÁö ¹Ðµµ¸¦ °ÅÀÇ 3¹è³ª °³¼±ÇÑ Àü±â ÀÌÁßÃþ Äܵ§¼­¸¦ °³¹ßÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
2003-10-20 Tanner, ȸ·Îµµ¸é¿ë Åø Ãâ½Ã
Tanner EDA»ç´Â ÀÚ»çÀÇ L-Edit ¼³°è ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¸¦ À§ÇÑ È¸·Îµµ¸é Á¶ÀÛ Åø L-Edit/SDLÀ» Ãâ½ÃÇß´Ù.
2003-10-16 ÃÖÃÊ·Î ½Ã¿¬ µÈ MEMS ±â¹ÝÀÇ ´Ùä³Î °¡º¯ »ö ºÐ»ê º¸»ó±â
»ö ºÐ»êÀÇ °ü¸®´Â ³ôÀº ºñÆ® Àü¼Û·üÀÇ DWDM ½Ã½ºÅÛ¿¡¼­ °¡Àå Áß¿äÇÑ ±â¼úµé °¡¿îµ¥ ÇϳªÀÌ´Ù.±¤¼¶À¯ Åë½Å ÄÁÆÛ·±½º ³í¹®ÀÎ "MEMS ¹× ȸÀý °ÝÀÚ ±â¹ÝÀÇ ´Ùä³Î °¡º¯ »ö ºÐ»ê º¸»ó±â"ÀÇ ³»¿ëÀ» °£´ÜÈ÷ »ìÆì º»´Ù.
2003-10-09 SUSS MicroTec, ȹ±âÀûÀÎ ¿þÀÌÆÛ º»µù ±â¼ú ¹ßÇ¥
SUSS MicroTec AG´Â Ç¥¸é µ¿ÀÛ ¹æ½Ä°ú ³ª³ë PREP¶ó°í ÇÏ´Â ¿þÀÌÆÛ Åõ ¿þÀÌÆÛ ¿¬°á ¹æ½ÄÀ» µµÀÔÇß´Ù. SUSS MicroTec»ç¿¡ ÀÇÇϸé ÀÌ ¹æ½ÄÀº DWB (direct wafer bonding)À» ÀÌ¿ëÇÏ´Â SOI¿Í º¯Çü ½Ç¸®ÄÜ °°Àº ¹ÝµµÃ¼ Àç·á Á¦ÀÛÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù.
2003-09-25 TIÀÇ Á¦¾î±â, BEI»çÀÇ ¼¾¼­ ±â¼ú Áö¿ø
Texas Instruments(TI)»ç´Â (BEI Technologies»çÀÇ »ç¾÷ºÎ¹®ÀÎ BEI Systron Donner Inertial Division(SDID)ÀÌ ÀÚ»çÀÇ BEI MEMS °ü¼º ÃøÁ¤ÀåÄ¡(IMU)ÀÎ MMQ-50¿¡ »ç¿ëÇϱâ À§ÇØ TI»çÀÇ TMS320F2812Çü µðÁöÅÐ ½ÅÈ£ Á¦¾îÀåÄ¡¸¦ ¼±ÅÃÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
2003-09-04 ÇÏÀ̴нº, µ¿¿ìÈ­ÀÎÄͰú ±¸¸® ¿¬¸¶¿ë ½½·¯¸® °øµ¿ °³¹ß
ÇÏÀ̴нº¹ÝµµÃ¼´Â ±¹³» Á¾ÇÕÁ¤¹ÐÈ­ÇÐ ¾÷üÀÎ µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ»ç¿Í °øµ¿À¸·Î ±¸¸®¹è¼± °øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ±¸¸® ¿¬¸¶¿ë ½½·¯¸®(Slurry)¸¦ °³¹ßÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
2002-05-14 ¸¶ÀÌÅ©·Î¸Ó½Å ¹æ½ÄÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è¿Í Á¦Á¶
ÀÌ ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ³ëÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼ ¸¶ÀÌÅ©·Î¸Ó½Å ¹æ½ÄÀ¸·Î ¼³°è ¹× Á¦Á¶µÇ´Â IC ¼¾¼­ÀÇ Æ¯Â¡°ú ±â´É¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÇÑ´Ù.
2001-06-01 2001: °í¹Ðµµ ±â´É¼º ȸ·ÎÀÇ ½Ã´ë
°ÅÀÇ ¸ðµç ÀüÀÚ Á¦Ç°µéÀÌ ¼ÒÇüÈ­ µÇ°í ¶ÇÇÑ °­·ÂÇÑ ¼º´ÉÀ» °®°Ô µÊ¿¡ µû¶ó, Á¦Á¶ ´Ü°è¿¡¼­´Â ´õ ¸¹Àº Çõ½Å°ú °í¹ÐµµÀÇ ÀÎÅÍÄ¿³ØÆ®, ±×¸®°í ´ëµÎµÇ´Â ÇØ°á °úÁ¦µéÀ» ¹Ì¸® ÇØ°áÇÒ º¸´Ù ³ªÀº ÅøµéÀÌ ÇÊ¿äÇØÁö°Ô µÉ °ÍÀÌ´Ù.
2001-05-15 MEMS¿Í MOEMS ÆÐŰ¡ÀÇ Çõ¸íÀ» °¡Á® ¿Â '°ÔÅÍ'
'°ÔÅÍ'´Â MEMS¿Í MOEMS¿¡¼­ ÇÙ½ÉÀû ¿ªÇÒÀ» ÇÏ¿© Àú°¡ÀÇ ÆÐŰ¡À» °¡´ÉÄÉ ÇØÁÙ °ÍÀÌ´Ù.ÀÌÁß ¸ñÀûÀÇ ¼öºÐ ÀÔÀÚ °ÔÅ͵éÀº ÀÌ»óÀûÀÎ Á¦Ç°À¸·Î ¿©°ÜÁö°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀϺΠ»ó¿ë ±¤ MEMS Á¦Ç°¿¡¼­´Â ÀÌ¹Ì »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
---ÃÑ 249 ±â»ç, ÃÑ17 ÆäÀÌÁö,ÇöÀç 17 ÆäÀÌÁö ---


°á°ú ³» °Ë»ö
´º½º °Ë»ö£º *
¸ðµç ´Ü¾î Æ÷ÇÔ   Àû¾îµµ ÇÑ ´Ü¾î Æ÷ÇÔ  »ó¼¼ °Ë»ö
°Ë»ö ´ë»ó£º
  • Á¦¸ñ ºÎºÐ
  • À¥ ÆäÀÌÁöÀÇ ¸ðµç ºÎºÐ


Go to top